독립기초 시스템
장비를 지지하는 구조물로 주위의 진동 유발원의 미세한 진동에 대해 분리하여 장비를 보호하고 생산 수율을 높이기 위한 SYSTEM
독립기초 시스템
- Access Floor와 독립적으로 설치
- 격자보 구조로 강성 확보
- 콘크리트 또는 강철 타입